Titre original :

Conception, fabrication et caractérisation d'un microcommutateur radio fréquences pour des applications de puissance

Mots-clés en français :
  • Électronique de puissance
  • Contacteurs électriques
  • Dispositifs à microondes
  • Gravure par plasma
  • Silicium -- Substrats
  • Technologie silicium sur isolant
  • Encapsulation (électronique)
  • Microactionneurs
  • Systèmes microélectromécaniques -- Conception et construction

  • Langue : Français
  • Discipline : Électronique
  • Identifiant : Inconnu
  • Type de thèse : Doctorat
  • Date de soutenance : 01/01/2005

Résumé en langue originale

Cette thèse traite de la conception, de la fabrication et de la caractérisation d'une nouvelle architecture de microcommutateur MEMS RF pour des applications de puissance. En effet, les composants proposés dans la littérature ne permettent pas de supporter des signaux radiofréquence de puissance. Après l'étude des limitations des solutions dites classiques, une nouvelle approche utilisant un assemblage de trois subtrats est présentée dont le but est de commuter des signaux hyperfréquences d'une puissance de 10W dans la bande 20MHz-2GHz. Après de nombreux compromis issus de contraintes mécaniques, thermique, hyperfréquences et technologique, le procédé de fabrication ainsi que les résultats obtenus sont présentés. Cette étude montre ainsi un premier démonstrateur de commutateur ohmique affichant plus de 40dB d'isolation à 2GHz et 30dB à 20GHz pour une tension de commande de 30V cependant de fortes pertes d'insertions liées au procédé technologique sont à déplorer.

  • Directeur(s) de thèse : Collard, Dominique

AUTEUR

  • Muller, Philippe
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