Conception, fabrication et caractérisation d'un microcommutateur radio fréquences pour des applications de puissance Électronique de puissance Contacteurs électriques Dispositifs à microondes Gravure par plasma Silicium -- Substrats Technologie silicium sur isolant Encapsulation (électronique) Microactionneurs Systèmes microélectromécaniques -- Conception et construction 621.381537 Cette thèse traite de la conception, de la fabrication et de la caractérisation d'une nouvelle architecture de microcommutateur MEMS RF pour des applications de puissance. En effet, les composants proposés dans la littérature ne permettent pas de supporter des signaux radiofréquence de puissance. Après l'étude des limitations des solutions dites classiques, une nouvelle approche utilisant un assemblage de trois subtrats est présentée dont le but est de commuter des signaux hyperfréquences d'une puissance de 10W dans la bande 20MHz-2GHz. Après de nombreux compromis issus de contraintes mécaniques, thermique, hyperfréquences et technologique, le procédé de fabrication ainsi que les résultats obtenus sont présentés. Cette étude montre ainsi un premier démonstrateur de commutateur ohmique affichant plus de 40dB d'isolation à 2GHz et 30dB à 20GHz pour une tension de commande de 30V cependant de fortes pertes d'insertions liées au procédé technologique sont à déplorer. Text Electronic Thesis or Dissertation FR application/pdf 1 : 18815061 https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2005/50376-2005-Muller.pdf Muller Philippe 2005-01-01 Électronique Université Lille1 - Sciences et Technologies thesis.degree.grantor_1 026404184 Doctorat non oui Collard Dominique Université Lille1 - Sciences et Technologies PDF ASCII 18815061