• Langue : Français
• Discipline : Micro-ondes et microtechnologies
• Identifiant : 2008LIL10148
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/2008

Résumé en langue originale

Cette thèse traite de la conception et de la réalisation de nouveaux types de composants MEMS RF. Ils sont basés sur des membranes sans ancrage simplement supportées contrairement aux dispositifs habituels qui utilisent des membranes encastrée-libre ou bi-encastrée. Ce concept permet d'augmenter la fiabilité des commutateurs MEMS en limitant leur sensibilité vis-à-vis de nombreux mécanismes de défaillance. Un circuit SPDT à base d'une unique membrane sans ancrage a été conçu et réalisé. La géométrie spécifique de la structure combinée à un système de bascule a permis d'obtenir de bonnes performances, à la fois mécaniques et RF (grande déflexion à faible tension d'actionnement, isolation et adaptation importantes, faibles pertes d'insertion). Pour encapsuler ce système, un assemblage eutectique or-silicium par chauffage localisé par effet Joule a été imaginé et simulé. Enfin, d'autres types de composants dérivés du concept de membrane simplement supportée, ainsi que des applications, ont été proposés.