Conception et réalisation de composants MEMS pour les communications basés sur un concept de membrane simplement supportée Contact capacitif Actionnement électrostatique Inverseur analogique unipolaire Systèmes microélectromécaniques -- Fiabilité -- Thèses et écrits académiques Télécommunications -- Systèmes de commutation -- Fiabilité -- Thèses et écrits académiques Radiofréquences -- Thèses et écrits académiques Lignes de transmission (télécommunications) -- Thèses et écrits académiques Microactionneurs -- Thèses et écrits académiques Encapsulation (électronique) -- Thèses et écrits académiques Alliages eutectiques -- Thèses et écrits académiques 621.3 Cette thèse traite de la conception et de la réalisation de nouveaux types de composants MEMS RF. Ils sont basés sur des membranes sans ancrage simplement supportées contrairement aux dispositifs habituels qui utilisent des membranes encastrée-libre ou bi-encastrée. Ce concept permet d'augmenter la fiabilité des commutateurs MEMS en limitant leur sensibilité vis-à-vis de nombreux mécanismes de défaillance. Un circuit SPDT à base d'une unique membrane sans ancrage a été conçu et réalisé. La géométrie spécifique de la structure combinée à un système de bascule a permis d'obtenir de bonnes performances, à la fois mécaniques et RF (grande déflexion à faible tension d'actionnement, isolation et adaptation importantes, faibles pertes d'insertion). Pour encapsuler ce système, un assemblage eutectique or-silicium par chauffage localisé par effet Joule a été imaginé et simulé. Enfin, d'autres types de composants dérivés du concept de membrane simplement supportée, ainsi que des applications, ont été proposés. Text Electronic Thesis or Dissertation FR application/pdf 1 : 20724294 https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2008/50376-2008-Robin.pdf Robin Renaud 2008LIL10148 2008-01-01 Micro-ondes et microtechnologies Université Lille1 - Sciences et Technologies thesis.degree.grantor_1 026404184 Doctorat non oui Buchaillot Lionel Université Lille1 - Sciences et Technologies ASCII 20724294