• Langue : Français
• Discipline : Micro-ondes et microtechnologies
• Identifiant : 2006LIL10002
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/2006

Résumé en langue originale

Le développement des technologies microsystèmes a permis l'apparition de composants capables de manipuler et d'effectuer des mesures sur des micro-objets, en utilisant des techniques variées. Ces travaux présentent une contribution aux outils de manipulation de micro-objets, en s'appuyant sur des actionneurs en résine SU8 et des micro-canaux gravés dans le silicium. Le premier système proposé est une microsonde en silicium polycristallin et en résine SU8 dotée d'une pointe, dont la fonction est de descendre dans un microcanal et effectuer des mesures électriques sur des micro-objets. Après une phase de conception, un compte-rendu de la fabrication et des tests sont proposés. Cette première étape permet de poursuivre sur un système d'extraction de microobjets d'un milieu liquide vers un milieu sec. Celui-ci comporte un système de convoyage diélectrophorétique et un actionneur en résine SU8 et or. La conception, la fabrication, et les tests ont permis finalement de démontrer le potentiel en terme d'automatisation d'un tel microsystème.