Titre original :

Étude des aspects électrothermiques de la filière HEMT AlGaN/GaN pour application de puissance hyperfréquence

Mots-clés en français :
  • Transistors à haute mobilité d'électrons -- Effets de la température

  • Éléments finis, Méthode des
  • Thermocinétique
  • Thermométrie
  • Spectroscopie Raman
  • Conduction électrique
  • Diamant
  • Contacts métal-semiconducteur
  • Microscopie à sonde à balayage
  • Semiconducteurs à large bande interdite
  • Nitrure de gallium
  • Langue : Français
  • Discipline : Microondes et microtechnologies
  • Identifiant : Inconnu
  • Type de thèse : Doctorat
  • Date de soutenance : 01/01/2004

Résumé en langue originale

Les HEMT à base de nitrure de gallium sont développés pour les applications de puissance hyperfréquence et leurs performances sont limitées par l'élévation de température résultante des hautes densités d'énergie dissipées dans les dispositifs. La température diminue la mobilité des électrons dans le gaz bidimensionnel, l'efficacité des résistances de contact ohmique ainsi qu'une baisse de la fiabilité du contact Schottky de la grille. L'optimisation du management thermique, afin d'obtenir les performances optimales, nécessite une connaissance précise de la température de fonctionnement thermique du composant. Plusieurs techniques de métrologie de la température ont été utilisées : la spectroscopie micro-Raman, la technique de caractérisation I-V pulsées, la microscopie thermique à balayage, la thermo-reflectance, ainsi qu'une méthode de simulation par élément finis. Enfin un management thermique amélioré est proposé, basé sur dépôt de diamant hydrogéné sur la zone active du composant qui draine les calories au plus près de la zone chaude.

  • Directeur(s) de thèse : Rolland, Paul-Alain - Delage, Sylvain L.

AUTEUR

  • Aubry, Raphaël
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