Université Lille1 - Sciences et Technologies Intégration, et caractérisation physique de nanostructures pour les technologies de l'information et de la communication : application au filtrage électromécanique dans la gamme des radiofréquences (0,8-2,4 GHz) Integration and physical characterization of nanostructures for information and communication technologies Friction statique Friction statique Micro-usinage de surface Micro-usinage de surface Nanopointes Nanopointes Résonateurs électromécaniques Résonateurs électromécaniques Transduction capacitive Transduction capacitive 621.381 5324 Silicium Oxydation Filtrage du signal Radiofréquences Microactionneurs Microscopie à force atomique Systèmes microélectromécaniques Text Electronic Thesis or Dissertation fr Ce travail est axé sur l'intégration et la caractérisation physique de nanostructures pour les technologies de l'information et de la communication, avec un volet applicatif principal concernant le filtrage électromécanique. La première partie est consacrée à la réalisation par micro-usinage de surface de résonateurs électromécaniques à transduction capacitive pour le traitement de signal dans la bande RF (0,8-2,4 GHz). Deux types de dispositifs sont proposés. Le premier emploie l'apex d'une nanopointe de silicium comme résonateur mécanique, tandis que la base de celle-ci est enterrée dans une couche épaisse de diélectrique. La définition des électrodes de couplage requiert une étape d'alignement en écriture électronique à l'issue du procédé de fabrication. Cette étape a mis en lumière la nécessité de préserver les motifs d'alignement électronique des différentes séquences relatives à la réalisation du dispositif. Pour remédier à ce verrou tech++ application/pdf 1 : 1 Mo https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2003/50376-2003-171.pdf Agache Vincent 1900-01-01 076062309 2003LIL10076 2003-01-01 Électronique Université Lille1 - Sciences et Technologies 026404184 Doctorat non oui Collard Dominique 070432147 ddc:620 ASCII PDF 9999