Université Lille1 - Sciences et Technologies Étude de fonctions passives à base de nanostructures photoniques Study of passive functions based on photonic nanostructures Semiconducteurs au phosphure d'indium 621.381 52 Guides d'ondes optiques Circuits intégrés pour microondes Gravure par plasma Composés semiconducteurs Nanostructures Propagation de faisceau, Méthode de Text Electronic Thesis or Dissertation fr Ce travail présente une étude de guides d'onde de taille submicrométrique (GOTS) réalisés en filière InP, filière particulièrement adaptée aux composants actifs des télécommunications à 1,3æm et 1,55æm. L'intérêt de tels dispositifs à fort confinement optique se manifeste dans la miniaturisation des systèmes optoélectroniques. Plusieurs méthodes de gravure des GOTS ont été envisagées : humide, RIE et ICP ; ce qui, parallèlement à des simulations par BPM (beam propagation method) de la propagation dans des GOTS idéaux permettant de déterminer l'influence des différents paramètres technologiques sur les pertes de propagation, nous a permis de dégager une structure épitaxiale et une technologie préférentielles. L'analyse de ces différentes informations nous a permis de réaliser par gravure ICP des GOTS de 0,3æm de large au minimum, présentant des pertes du même ordre de grandeur que celles relevées dans la littérature pour des structures similaires réalisées en filière GaAs. application/pdf 1 : 1 Mo https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2003/50376-2003-125.pdf Beaurain Arnaud 1900-01-01 075647842 2003-01-01 Instrumentation et analyses avancées Université Lille1 - Sciences et Technologies 026404184 Doctorat non oui Decoster Didier 060655992 Constant Monique 091455251 ddc:620 ASCII PDF 9999