• Langue : Français
• Discipline : Strcture et dynamique des systèmes réactifs
• Identifiant : 2002LIL10067
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/2002

Résumé en langue originale

L'objectif de cette étude est l'élaboration et la caractérisation de dépôts de nitrure de carbone réalisés sur des substrats de Si ou Al par ablation laser IR d'une cible de graphite sous post-décharge d'azote en écoulement. L'influence de l'accroissement de la pression d'azote sur les caractéristiques physico-chimiques et structurales ainsi que sur la dureté et la résistivité électrique de ces matériaux est également analysée. Dans ce but, plusieurs techniques sont mises en œuvre. selon une approche originale, l'analyse du dépôt par XPS a permis de mettre en évidence six configurations de liaison carbonée et d'établir une corrélation directe entre les résultats d'analyse XPS des bandes de cœur et des bandes de valence. En outre, la présence de cristaux de structure a-C3N4 est mise en évidence par des analyses DRX en incidence rasante. Ces cristaux sont dispersés dans une phase amorphe constituant la nature essentielle des couches ainsi que le confirme la spectroscopie Raman. La morphologie et la topographie de surface des dépôts sont analysées par MEB et AFM reflétant une microstructure granulaire constituée de particules qui s'agglomèrent entre elles en formant des agrégats dont la taille est de plusieurs centaines de nanomètres. Enfin, une première approche à la compréhension des processus en phase gazeuse intervenant lors de l'ablation laser est réalisée par spectroscopie optique d'émission.