• Langue : Français
• Discipline : Electronique
• Identifiant : 2000LIL10019
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/2000

Résumé en langue originale

Les progres de la technologie des semiconducteurs ont permis l'emergence d'un nouveau type de composant: les microtriodes a emission par effet de champ, offrant ainsi un nouvel axe de recherches dans le domaine de la microelectronique du vide. Les multiples applications de ces dispositifs telles que les afficheurs a ecran plat, la lithographie a faisceaux multiples et les tubes hyperfrequences, ouvrent un large champ d'investigations. Dans le domaine des microondes, la substitution de l'emission thermoionique par une emission de champ associee aux proprietes electroniques de transport dans le vide est particulierement attractive notamment en raison du gain potentiel en energie et en fiabilite. La simulation numerique electrostatique de microemetteurs de type pointe et lame est etudiee en vue de determiner les potentialites en emission de ces structures notamment a partir du champ electrique a l'apex de celles-ci. L'influence des parametres geometriques du site emissif (rayon de courbure, hauteur, profil, ) et de son environnement (effet de reseau d'emetteurs, electrode de grille, ) sur l'exaltation du champ d'extraction a ete analysee. Le deuxieme aspect concerne la realisation technologique de micropointes sur substrat d'arseniure de gallium suivie de leur caracterisation electrique dans un fonctionnement en diode. La fiabilisation du procede a ete menee en relation avec une analyse physique de la surface. L'integration d'une grille de commande a alors ete mise en uvre a l'aide d'une technique de planarisation des reliefs. Les premiers resultats de fonctionnement en triode valident une commande effective de l'emission par la tension de grille, etape qui pourra ainsi permettre d'evaluer les potentialites emissives de reseaux de microemetteurs a effet de champ sur substrat asga.