Titre original :

Etude et réalisation de microcapteurs radiatifs infrarouges en technologie couches minces à structure distribuée périodique

  • Langue : Français
  • Discipline : Electronique
  • Identifiant : Inconnu
  • Type de thèse : Doctorat
  • Date de soutenance : 01/01/1998

Résumé en langue originale

Ce travail de these porte sur l'etude et la realisation de microcapteurs radiatifs infrarouges a differentiel d'absorption. Un modele analytique tenant compte de la distribution bidimensionnelle de la chaleur dans le substrat ainsi que dans les pistes thermoelectriques a ete etabli. Il se presente sous la forme de relations analytiques simples permettant de calculer la sensibilite, la detectivite ou le coefficient d'immunite a la convection. Ces relations introduites dans un calculateur donnent tres facilement acces aux dimensions geometriques optimales de la structure d'un capteur dedie a une application. Pour parvenir a ce resultat de facon precise, il fallait verifier certaines valeurs numeriques concernant les materiaux utilises pour fabriquer les microcapteurs. Tout d'abord, mesurer le pouvoir thermoelectrique des couches metalliques minces obtenues au laboratoire. Ensuite, par une analyse des releves spectrometriques, nous avons pu quantifier la puissance infrarouge absorbee par la surface active du capteur. L'exploitation de l'ensemble de ces resultats a permis de developper des capteurs plus performants au niveau de la sensibilite. D'une part, la surface d'absorption du rayonnement par le substrat de verre a ete augmentee ce qui a conduit a ameliorer la sensibilite d'un facteur 1,8. D'autre part, un nouveau facteur 1,8 a pu etre gagne par la mise en oeuvre de nouveaux materiaux deposes en couches minces (bi/sb) dont le pouvoir thermoelectrique est de 100v/c.

  • Directeur(s) de thèse : Leclercq, Didier

AUTEUR

  • Sakly, Samy
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