• Langue : Français
• Discipline : Spectrochimie
• Identifiant : Inconnu
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/1994

Résumé en langue originale

Nos travaux consistent en l'elaboration de materiaux plzt (oxydes mixtes de plomb, lanthane, zirconium et titane a structure perovskite) pour la mise au point d'une technologie de depots en couches minces de ceramiques par pulverisation cathodique rf assistee par magnetron. Les proprietes piezoelectriques et electro-optiques des ceramiques plzt sont revues dans la premiere partie. La deuxieme partie presente une etude experimentale sur les parametres de la reaction, l'influence de certaines etapes du procede et les proprietes des poudres d'oxyde initiales sur la qualite des poudres plzt finales et en particulier sur leurs compositions chimiques. L'etude de la mise en forme et de la densification par differentes techniques, dans une troisieme partie, permet l'obtention de materiaux transparents a microstructure controlee avec des proprietes piezoelectriques elevees. Des depots de films minces sur substrats silicium, par pulverisation cathodique rf magnetron sont presentes dans la derniere partie.