Titre original :

Simulation bidimensionnelle par la méthode des éléments finis de procédés technologiques complets sur silicium : couplage avec un simulateur de dispositifs

  • Langue : Français
  • Discipline : Électronique
  • Identifiant : Inconnu
  • Type de thèse : Doctorat
  • Date de soutenance : 01/01/1985

Résumé en langue originale

MOBIDIC est un simulateur technologique très performant applicable aux procédés technologiques complets sur silicium. Il utilise la méthode des éléments finis. Les problèmes spatiaux et temporels peuvent être découplés. L'influence du maillage sur la stabilité des résultats est analysée. Un mailleur original très performant, le programme ORIENT, totalement compatible avec MOBIDIC, est mis au point. Les lois de distributions d'impureté Gaussiennes, Bigaussiennes et Pearson IV sont incluses dans le code MOBIDIC. Exemples. Accord avec SUPREM. Couplage possible avec le simulateur de dispositifs MINIMOS. L'écriture d'un préprocesseur d'entrée/sortie facile d'emploi s'est avérée nécessaire. Une bibliothèque des valeurs par défaut de tous les paramètres des modèles et constantes physiques est disponible.

AUTEUR

  • Desoutter, Isabelle
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