Étude et réalisation de microcapteurs de flux thermique en technologie silicium Fluxmètres -- Conception et construction -- Thèses et écrits académiques Microcapteurs Thermocouples Silicium poreux -- Propriétés thermiques Thermocinétique -- Mesure 621.4022 La mesure du flux thermique total échangé entre deux milieux, présente un grand intérêt, puisqu'elle permet d'établir directement des bilans énergétiques. Le principe de fonctionnement des microfluxmètres thermiques réalisés au laboratoire est basé sur la conversion du flux thermique en gradients périodiques de température. Pour cela, des discontinuités périodiques de conductivité thennique sont générées à la surface d'un substrat de silicium. Les gradients périodiques de température sont ensuite exploités à l'aide d'une thermopile planaire constituée par l'association d'un grand nombre de microthermocouples agencés en série. La thermopile délivre alors une tension qui est à la densité de flux thermique traversant le capteur. Un modèle mathématique intégrant les différents paramètres des microcapteurs a été développé et validé expérimentalement à l'aide d'un banc de caractérisation développé dans le cadre de ce travail. Une étude approfondie a été menée sur la fabrication et caractérisation des matériaux entrant dans la réalisation de cette nouvelle génération de fluxmètres. Les résultats obtenus sont très encourageants. De nombreux microcapteurs ont été fabriqués et caractérisés permettant ainsi de vérifier l'excellente répétabilité de la sensibilité et de la résistance électrique ce qui est très important pour envisager une production en grandes séries. Text Electronic Thesis or Dissertation FR application/pdf 1 : 7827218 https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2007/50376-2007-Yala.pdf Yala Malika 2007LIL10019 2007-01-01 Microondes et microtechnologies Université Lille1 - Sciences et Technologies thesis.degree.grantor_1 026404184 Doctorat non oui Leclercq Didier Ziouche Katir Université Lille1 - Sciences et Technologies ASCII 7827218