• Langue : Français
• Discipline : Microondes et microtechnologies
• Identifiant : 2005LIL10144
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/2005

Résumé en langue originale

Cette thèse s'inscrit dans le cadre du projet industriel de STMicroelectronics de réaliser des filtres radiofréquence (RF) à onde acoustique de volume (BAW : Bulk Acoustic Wave) à l'aide de films minces de nitrure d'aluminium (AIN) pour la téléphonie mobile. Dans ce travail, nous présentons une méthode pour la modélisation des résonateurs BAW et analysons les voies d'optimisation de cette structure élémentaire pour l'application de filtrage RF. Les performances électriques du résonateur sont intimement liées aux caractéristiques mécaniques des couches utilisées. Une méthode de caractérisation originale, l'acoustique picoseconde, nous a permis d'avoir accès à ces grandeurs et sera ensuite présentée. Enfin, des validations expérimentales de résonateurs et filtres seront exposées. Une démarche originale a été adoptée et nous a permis d'identifier une solution technologique innovante et présentant de très bonnes performances pour la réalisation de filtres RF en téléphonie mobile.