Titre original :

Jonctions nanométriques à base d'électrodes ou de nanofils en siliciure de titane

Mots-clés en français :
  • Siliciure de titane
  • Microélectrodes -- Thèses et écrits académiques
  • Nanofils -- Thèses et écrits académiques
  • Microscopie tunnel à balayage
  • Diodes à barrière de Schottky
  • Silicium -- Substrats
  • Lithographie par faisceau d'électrons
  • Composants électroniques -- Propriétés électriques -- Mesures

  • Langue : Français
  • Discipline : Sciences des matériaux
  • Identifiant : 2006LIL10123
  • Type de thèse : Doctorat
  • Date de soutenance : 01/01/2006

Résumé en langue originale

Les techniques de mesure du transport dans des nano-objets telles que la jonction brisée, le nanopore ou les électrodes planaires séparées par quelques nanomètres souffrent toutes de la même restriction : l'impossibilité d'observer les nano-objets au sein même du dispositif de mesure et par conséquent, l'incapacité d'interpréter précisément les phénomènes de conduction dans ces jonctions nanométriques. Aussi, nous avons envisagé de réaliser un dispositif permettant d'observer des nano-objets connectés à deux électrodes conductrices. L'idée proposée est d'utiliser la microscopie à effet tunnel sous ultravide pour observer des nano-objets déposés entre deux électrodes planaires sur une surface semi-conductrice plane. La réalisation des électrodes est menée selon deux approches. La première méthode consiste à réaliser par lithographie électronique des électrodes planaires en siliciure de titane séparées par un nanogap possédant une grande stabilité thermique compatibles avec la préparation de la surface Si(111)- 7x7 en ultravide. La deuxième méthode consiste en la réalisation de nanofils (NWs) de plus de 1 m de long à partir du dépôt d'une faible quantité de titane sur une surface de Si(111) reconstruite 7x7, puis en l'étude des mécanismes de transport entre ces NWs et le substrat afin de déterminer si ces NWs peuvent jouer le rôle de nanoélectrodes.

  • Directeur(s) de thèse : Stievenard, Didier - Grandidier, Bruno

AUTEUR

  • Soubiron, Thibaut
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