Conception, réalisation et test d'un microsystème de transport alimenté à distance Télécommande Microtechniques Actionneur électrostatique Antennes spirales Couplage inductif Microrobots Circuits intégrés à haute tension Circuits mixtes Déplacement ciliaire Microtransport Téléalimentation 629.892 Ce document présente l'étude, la réalisation et le test des trois composants nécessaires pour l'obtention d'un microrobot alimenté à distance par couplage électromagnétique à 13,56 MHz : à savoir une antenne à fort coefficient de qualité ; un circuit intégré de commande ; et un réseau d'actionneurs électrostatiques distribués. L'antenne est obtenue à l'aide d'une électrolyse d'or de 30 microns sur un substrat isolant constitué de résine SU8 afin de s'affranchir des pertes par insertion et d'alléger la charge supportée par le robot. Les actionneurs électrostatiques, dont les dimensions font 150×60×9 [micron] 3, sont réalisés en polysilicium, et réalisent un système de déplacement à cils. Le circuit intégré a été réalisé dans la technologie I2T100 de chez AMI Semiconductor. Il permet d'actionner de façon asynchrone quatre sorties avec des tensions pouvant aller jusquà 100 V, grâce à une information transmise par modulation d'amplitude de la porteuse. Spécialement dédié pour un actionnement électrostatique, il permet d'alterner chaque commande sur deux électrodes afin d'éviter la striction des dispositifs par accumulation de charges électriques. Text Electronic Thesis or Dissertation FR application/pdf 1 : 7244502 https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2003/50376-2003-67-68.pdf Basset Philippe 2003-01-01 Microélectronique - microsystème Université Lille1 - Sciences et Technologies thesis.degree.grantor_1 026404184 Doctorat non oui Kaiser Andreas Université Lille1 - Sciences et Technologies PDF ASCII 7244502