• Langue : Français
• Discipline : Microondes et microtechnologies
• Identifiant : Inconnu
• Type de thèse : Doctorat
• Date de soutenance : 01/01/2004

Résumé en langue originale

Cette thèse présente un microrelais dédié à la commutation de signaux continus en environnement sévère. Il est composé d'un cantilever bilame Al/SiO2 et de contacteurs en or. Ce dispositif commute grâce à un actionnement à la fois électrostatique et électrothermique. Son intégration sur circuit intégré standard est rendue possible par l'utilisation d'un procédé de fabrication basse température. Une approche analytique complète décrivant le comportement du dispositif a été développée pour la phase de conception. Un courant est injecté à travers la couche métallique du bilame ce qui provoque une augmentation de température par effet Joule. Le chauffage et les différents coefficients de dilatation thermique des matériaux provoquent la déflexion du cantilever. L'actionnement thermique a été retenu car il permet d'effectuer des déplacements d'amplitude importante. De plus, comme l'actionnement électrostatique n'est intéressant que dans le cas d'un faible entrefer, l'actionnement électrothermique est complété par un actionnement électrostatique. Ceci permet d'obtenir une force suffisante au verrouillage du dispositif, améliorant du coup la fiablilité du contact.