Filtres microélectromécaniques micro-usinés en polysilicium couche épaisse et leur application au filtrage en fréquence intermédiaire Filtrage microélectromécanique Systèmes microélectromécaniques Composants électroniques Asservissement de fréquence Composants reconfigurables Transducteurs -- Espacement Espacement -- Ajustement Résonateurs micromécaniques Circuits radiofréquences Radiocommunication 621.3815324 Le travail est axé sur la conception de filtres MEMS pour le filtrage IF dans une technologie de silicium couche épaisse épitaxiée. Le but est d'explorer les capacités d'une telle technologie pour la réalisation de filtres micromécaniques passe-bande, et d'enrichir le savoir-faire en matière de la conception au niveau architectural de filtres d'ordre élevé. Nous avons proposé un concept de ressort électrostatique à rigidité variable, qui permet de réaliser des filtres à résonateurs couplés à largeur de bande contrôlée en tension. Une méthode de conception de filtres mécaniques, basée sur l'analogie électromécanique, est développée. Elle est appliquée à la conception d'un filtre passe-bande à zéros de transmission dans la bande coupée. Nous avons conçu une architecture de récepteur RF superhétérodyne, utilisant un filtre MEMS dans un étage IF. La dérive thermique de la fréquence centrale est compensée par un asservissement de la fréquence intermédiaire. Text Electronic Thesis or Dissertation FR application/pdf 1 : 3660968 https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/Th_Num/2002/50376-2002-315-316.pdf Galayko Dimitri 2002-01-01 Électronique Université Lille1 - Sciences et Technologies thesis.degree.grantor_1 026404184 Doctorat non oui Kaiser Andreas Université Lille1 - Sciences et Technologies PDF ASCII 3660968