Université Lille1 - Sciences et Technologies Contribution au domaine des actionneurs et résonateurs microélectromécaniques : applications à la nanocaractérisation Résonateurs microélectromécaniques Actionnement électrostatique 681.757 Systèmes microélectromécaniques Microactionneurs Microcapteurs Filtrage du signal Oscillateurs Microfluidique Microscopie à force atomique Text Electronic Thesis or Dissertation fr Depuis 1996, mes activités de recherche se sont inscrites dans les champs des nanosciences, de la physique des semi-conducteurs, des micro/nanotechnologies, et des MEMS/NEMS (Micro/Nanosystèmes électromécaniques). En particulier, j’ai rejoint en octobre 2000 le groupe Microsystèmes Silicium de l’IEMN sur le sujet des résonateurs micro-électromécaniques et de leurs applications pour le traitement du signal en gamme RF et IF. Cette activité a permis de développer les techniques de caractérisation électrique des dispositifs ainsi que leur modélisation électromécanique. A partir de 2002, j’ai étendu mes activités dans le domaine des MEMS vers les micro-actionneurs et les micro-capteurs, dont les applications concernent les nanotechnologies et la biologie. Je me suis appliqué au développement d’actionneurs électrostatiques pour un fonctionnement en milieu liquide, et au développement de capteurs capacitifs et piézorésistifs aux performances ultimes pour des applications nanométriques. Depuis 2007, l’activité de recherche se concentre sur l’utilisation des résonateurs MEMS en tant que nouvelle génération de sondes de microscopie à force atomique (AFM) à hautes performances. Cette activité est actuellement soutenue par le Conseil Européen de la Recherche (ERC) dans le cadre d’un financement Starting Grant dont je suis le bénéficiaire. En 2009, nous avons démontré le concept des sondes MEMS AFM en obtenant les premières images de microscopie, et en 2010 nous avons obtenu des images d’origamis d’ADN à la cadence rapide d’une image par seconde. Le travail de recherche se focalise maintenant sur le développement des sondes afin d’en améliorer les performances en termes de fréquence de vibration, de résolution en force et de vitesse d’acquisition. Un autre aspect concerne l’utilisation de ces sondes pour l’analyse rapide du comportement dynamique de nanobiosystèmes en milieu liquide. Ces travaux s’inscrivent dans une vision à plus long terme visant à développer des solutions à base de MEMS et de NEMS pour l’instrumentation scientifique et la nanocaractérisation multimodale. application/pdf 1 : 1 Mo https://pepite-depot.univ-lille.fr/RESTREINT/HDR/2012/50376-2012-235.pdf Legrand Bernard 1900-01-01 137439423 2012-01-01 Sciences physiques Université Lille1 - Sciences et Technologies 026404184 HDR non oui Buchaillot Lionel 060779136 ddc:680 ASCII PDF 9999 restriction 2012-01-01 9999-01-01 restriction 2012-01-01 9999-01-01