Université Lille1 - Sciences et Technologies Contribution à l'introduction de concepts mécaniques dans les micro et les nano systèmes Actionneurs thermiques Actionneurs électrostatiques Micro-usinage de surface Microcommutateurs Résonateurs électromécaniques 621.381 53 629.892 Filtrage du signal Silicium cristallisé Couches minces métalliques Alliages nickel-titane Alliages à mémoire de forme Microactionneurs Systèmes microélectromécaniques Fiabilité Text Electronic Thesis or Dissertation fr Dans le premier cas (BioMEMS), ce sont les dimensions mais surtout les forces développées par les microdispositifs qui sont compatibles avec ce que les objets biologiques peuvent supporter sans dommage; alors que dans le second (nanosciences), c'est la combinaison de leur sensibilité aux forces inter-atomiques et de leurs dimensions qui leur confère un intérêt déjà bien compris des physiciens. Les travaux effectués dans le groupe "Microsystèmes Silicium" de l'IEMN se sont orientés vers ces deux voies: BioMENS et microsystèmes pour les nanotechnologies. Ces recherches s'appuient sur l'expérience acquise dans la réalisation de micro-actionneurs dont la locomotion ou la mise en vibration est assurée par des transducteurs électromécaniques, des matériaux actifs ou des bimorphes thermiques. Ces micro-actionneurs et leurs matériaux constitutifs ont été caractérisés au moyen de bancs, de test spécifiques. Dans ce domaine de recherche relativement nouveau, l'améliration des connaissances passe aussi par la compréhension des interactions entre les mocrodispositifs et les surfaces environnantes. Les microsystèmes sont extrêmement sensibles pour détecter les variations de leur environnement, que ce soit des changements de pression, de force, d'intensité électrique, etc... En revanche, les microdispositifs ne permettent pas d'agir sur un environnement extérieur macroscopique autre qu'un phénomène ondulatoire comme la lumière ou les microondes ( déviation de faisceau lumineux, antenne mobile,...). Cela tient principalement à leurs dimensions micrométriques et à la faible intensité des forces qu'ils sont capables de produire. on peut alors se demander s'il existe un type d'environnement dans lequel ces faiblesses peuvent se traduire en avantages, et il vient naturellement deux domaines de recherche où les microsystèmes ont un rôle important à jouer: il s'agit de l'interface entre la physique et la biologie; et de l'interface entre le monde macroscopique et le monde nanométrique. application/pdf 1 : 1 Mo https://pepite-depot.univ-lille.fr/RESTREINT/HDR/2004/50376-2004-11.pdf Buchaillot Lionel 1900-01-01 060779136 2004-01-01 Sciences physiques Université Lille1 - Sciences et Technologies 026404184 HDR non oui Collard Dominique 070432147 ddc:620 ddc:620 ASCII PDF 9999 restriction 2012-01-01 9999-01-01 restriction 2012-01-01 9999-01-01