Note ABES Hybrid surface and bulk acoustic waves resonators Résonateurs hybrides à ondes acoustiques de surface et de volume Filtres radiofréquences Simulation de matériaux architectures Fabrication microélectronique Piézoélectricité Filtres SAW Filtres SAW Ondes acoustiques de volume Radiofrequency filters Architected materials simulation Microelectronics fabricationwaves Piezoelectricity SAW filters BAW filters Filtrage du signal Filtres radioélectriques Cavités résonnantes (acoustique) Ondes acoustiques de surface Transducteurs piézoélectriques Micro-fabrication Nitrure d'aluminium Niobate de lithium Le concept des résonateurs hybrides SAW/BAW (HSB) a été introduit en 2013. Il se base sur un arrangement périodique de transducteurs piézoélectriques sur un substrat, combinant les avantages des dispositifs à ondes de volume et des dispositifs à ondes de surface. Une étude initiale portant sur l'AlN a permis d'optimiser deux modes de résonance atteignant respectivement des coefficients de couplage électromécanique de 1% et 1,8% à envi-ron 1 GHz et 2,4 GHz. Ces résultats ont été confirmés par deux cycles de fabrication, mettant en évidence des facteurs de qualité élevés, allant jusqu'à 3700 à la résonance et 3300 à l'antirésonance pour le premier mode à 600 MHz, et jusqu'à 1900 à la résonance et 1700 à l'antirésonance pour le second mode à 2,8 GHz.Afin d'améliorer ces coefficients de couplage électromécanique, nous avons évalué l'utilisation de matériaux piézoélectriques tels que le AlScN et le niobate de lithium (LNO). Une étude théorique a été réalisée, montrant la possibilité d'atteindre un coefficient de couplage électromécanique de 38% à 500 MHz et de 28% à 1,8 GHz pour le LNO. De nouveaux procédés de fabrication sont introduits, et des résultats préliminaires sont présentés. Enfin, nous avons mis en évidence l'existence d'un nouveau mode qui peut atteindre, sous certaines conditions spécifiques, des fréquences supérieures à 4 GHz avec des coefficients de couplage électromécaniques de 7% pour l'AlN et 16% pour le LNO. The concept of hybrid SAW/BAW (HSB) resonators was introduced in 2013. It is based on a periodic arrangement of piezoelectric transducers on a substrate, combining the ad-vantages of bulk- and surface-wave devices. An initial study on AlN optimized two reso-nance modes achieving electromechanical coupling coefficients of 1% and 1.8% respectively at around 1 GHz and 2.4 GHz. These results were confirmed by two manufacturing cycles, demonstrating quality factors up to 3700 at resonance and 3300 at anti-resonance for the first mode at 600 MHz, and up to 1900 at resonance and 1700 at anti-resonance for the second mode at 2.8 GHz.In order to improve the electromechanical coupling, we have investigated other piezoelectric materials such as scandium-doped AlN and lithium niobate (LNO). A theoretical analysis have shown that an electromechanical coupling coefficient of 38% at 500 MHz and 28% at 1.8 GHz can be attained with LNO. A new manufacturing process is introduced, and pre-liminary results are presented. Finally, we demonstrate the existence of a new mode that can reach frequencies above 4 GHz with electromechanical coupling coefficients of 7% for AlN and 16% for LNO, under certain specific conditions. Electronic Thesis or Dissertation Text en PDF 15383505 https://pepite-depot.univ-lille.fr/LIBRE/EDENGSYS/2024/2024ULILN006.pdf https://theses.hal.science/tel-04693437 https://theses.hal.science/tel-04693437 https://theses.fr/2024ULILN006/abes https://theses.hal.science/tel-04693437 https://theses.hal.science/tel-04693437 https://theses.hal.science/tel-04693437 Barsoum Saher Barsoum 1995-11-12 EG 280148887 https://theses.fr/2024ULILN006 2024ULILN006 https://doi.org/10.70675/b96a92d0z3a2cz441ez8281z27ea7c7aa6af 2024-02-02 Micro-nanosystèmes et capteurs Université de Lille (2022-....) 259265152 Doctorat Docteur es non oui Dubus Bertrand MADS_DIRECTEUR_DE_THESE_1 137157274 Bou Matar-Lacaze Olivier MADS_PRESIDENT_DU_JURY 150767005 Reinhardt Alexandre MADS_MEMBRE_DU_JURY_1 105644099 Prada Claire MADS_MEMBRE_DU_JURY_2 162518994 Le Clézio Emmanuel MADS_RAPPORTEUR_1 060748575 Villanueva Guillermo MADS_RAPPORTEUR_2 188739297 École graduée Sciences de l’ingénierie et des systèmes (Lille ; 2021-....) MADS_ECOLE_DOCTORALE_1 25860221X Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie MADS_PARTENAIRE_DE_RECHERCHE_1 1066983 138736421 ddc:620 Dubus Bertrand Bou Matar-Lacaze Olivier Reinhardt Alexandre Prada Claire Le Clézio Emmanuel Villanueva Guillermo École doctorale Sciences de l’ingénierie et des systèmes (Lille ; 2021-....) Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie PDF 15383505